用于晶片定位的集成垂直旋转台
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用于晶片定位的集成垂直旋转台
ZVR 利用其不同的三点驱动和轴承设计，集成了 Z 和 θ 定位，可以准确地升高和旋转晶圆卡盘。
Ø薄型设计，垂直精度达 10 mm，角度行程持续为 360 度
Ø三点式底部接口可以稳定安装到任何 XY 平移台或其他平台
Ø中心孔径大，从而简化了真空和电缆管理
Ø质量轻、固有频率高，从而可用于快速步进应用
Ø不锈钢循环滚珠轴承
Ø即插即用 - ESP 兼容
产品型号
对比 | 型号 |
| ZVR-PC晶片定位位移台，集成垂直和直流旋转台 |
注释: 提供用于ϴ轴版本的步进电机。
特征
有效载荷设计 | |
| ZVR 通过沿着旋转平台外圆周的三个点（以 120 度分开） 刚性地支撑和驱动有效载荷。 常规设计在旋转台中心使用一个单个凸轮、楔块或螺丝。 具有串联导轨和驱动机制的 Newport 的三点设计具有很多优点， 非常适用于轻微至极端不平衡载荷应用（例如，晶片探测）， 可以沿着卡盘的外边缘位置施加垂直力。 因这些偏心负载造成的角变形降低到较小程度， 并且在垂直运动期间也不存在弯曲现象。 |
开放式孔径 | 可调限位开关 |
ZVR 的不同设计的一个重要性能是含有一个穿过转台中心的 50 mm通光孔径，以支持通过电缆、线路和其他工具。 | ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关， 使用户可以设置垂直行程的上限。 |
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可调限位开关 | |
ZVR 具有一个调节范围为 4 mm 的上限开关，使用户可以设置垂直行程的上限。 | |
免费提供计量报告 | |
Newport 保证根据 ASME B5.57 和 ISO 230-2 标准测量和记录的规格值。典型性能值比可保证值高出两倍。 | |
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兼容控制器
ZVR-PC兼容的运动控制器为：
•XPS-RLD运动控制器（2轴或4轴）：需要XPS-DRV11驱动器模块。
•XPS-D运动控制器（2轴，4轴，6轴或8轴）：需要XPS-DRV11驱动器模块。
•ESP30x运动控制器：即插即用，与所有ESP302和ESP301 *运动控制器兼容。
•SMC100运动控制器：用于ϴ轴的SMC100CC和用于Z轴的SMC100PP *。
*使用ESP301和SMC100PP控制器，Z轴的较小增量运动为0.25 µm。