陷波 - 反射滤光片

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陷波 - 反射滤光片

多层反射滤光片是全介电反射器，可在特定 VUV 到 UV 波长下提供高反射率，同时传输更长波长的 UV 到 IR 光。滤光片设计用于 45 度 AOI。

可提供峰值波长 >250 nm 的定制紫外线滤光片，其 DUV-VUV 透射率低于 ~210 nm。

注意：镀膜可应用于 Acton 标准基材、定制基材和客户提供的材料 (CSM)。

VUV/UV 反射滤光片 - Acton 标准滤光片基板上的 45° AOI

波长	峰值反射率	1.0” 零件号	1.5” 零件号	2.0” 零件号
126nm	≥ 40%	M126-3045-1D	M126-3045-1.5D	M126-3045-2D
146nm	≥ 45%	M146-3045-1D	M146-3045-1.5D	M146-3045-2D
157nm	≥ 82%	M157-3045-1D	M157-3045-1.5D	M157-3045-2D
172nm	≥ 82%	M172-3045-1D	M172-3045-1.5D	M172-3045-2D
185nm	≥ 82%	M185-3045-1D	M185-3045-1.5D	M185-3045-2D
193nm	≥ 82%	M193-3045-1D	M193-3045-1.5D	M193-3045-2D
200nm	≥ 90%	M200-3045-1D	M200-3045-1.5D	M200-3045-2D
208nm	≥ 90%	M208-3045-1D	M208-3045-1.5D	M208-3045-2D
212nm	≥ 90%	M212-3045-1D	M212-3045-1.5D	M212-3045-2D
220nm	≥ 90%	M220-3045-1D	M220-3045-1.5D	M220-3045-2D
240nm	≥ 90%	M240-3045-1D	M240-3045-1.5D	M240-3045-2D
248nm	≥ 90%	M248-3045-1D	M248-3045-1.5D	M248-3045-2D
254nm	≥ 90%	M254-3045-1D	M254-3045-1.5D	M254-3045-2D
260nm	≥ 90%	M260-3045-1D	M260-3045-1.5D	M260-3045-2D
266nm	≥ 90%	M266-3045-1D	M266-3045-1.5D	M266-3045-2D
280nm	≥ 90%	M280-3045-1D	M280-3045-1.5D	M280-3045-2D
300nm	≥ 90%	M300-3045-1D	M300-3045-1.5D	M300-3045-2D
320nm	≥ 90%	M320-3045-1D	M320-3045-1.5D	M320-3045-2D
340nm	≥ 90%	M340-3045-1D	M340-3045-1.5D	M340-3045-2D
352nm	≥ 90%	M352-3045-1D	M352-3045-1.5D	M352-3045-2D
360nm	≥ 90%	M360-3045-1D	M360-3045-1.5D	M360-3045-2D

注：175nm 以下滤光片的基材是 CaF2 和 175nm 以上的熔融石英

显示了典型的样品镀膜性能曲线。可根据要求提供特定的设计曲线，包括反射率和透射性能。

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