FMS115Z系列 高精度直线电机位移台

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⾏程覆盖50mm、100mm、150mm与200mm

坚固的台⾝设计

高分辨率的光栅尺编码器

超静音位移台

免费标准版SDK

高性能控制器

可选配EtherCAT总线控制

产品简介

在光机领域，科研和⼯业客⼾追求⾼速、⾼精度、⾼稳定性、⾼性价⽐。我们根据多年电动位移台设计经验，开发了全新的专利产品-FMS115Z直线电机位移台。以优异的性能，**竞争⼒的价格，⽤以取代传统伺服电机+丝杠结构位移台。

FMS115Z配有100nm精度光栅尺以保证位移台重复定位精度。

产品应用

生命科学

精密测量

半导体

航空领域

激光

自动控制⼯业

性能实测

接线定义

电机接⼝

反馈接⼝

产品图纸

FMS115Z-50

FMS115Z-100

FMS115Z-150

FMS115Z-200

产品参数


Model
FMS115Z-50
FMS115Z-100
FMS115Z-150
FMS115Z-200
⾏程(mm)
50
100
150
200
负载(Kg)
20
10
20
10
分辨率(μm)
0.1
0.1
0.1
0.1
最⼩步进量(μm)
0.3
0.3
0.3
0.3
单向重复定位精度/保证值(μm)
±0.5
±0.5
±0.5
±0.5
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.2
±0.2
±0.2
±0.2
双向重复定位精度/保证值(μm)
±1
±1
±1
±1
双向重复定位精度/典型值(μm)
±0.5
±0.5
±0.5
±0.5
定位精度/保证值(μm)
±2
±2
±2
±2
定位精度/典型值(μm)
±1
±1
±1
±1
最⼤速度(mm/s)
200
200
200
200
直线度(μm)
5
5
5
5
平整度(μm)
5
5
5
5
偏摆(arcsec)
10
15
15
20
俯仰(arcsec)
10
15
15
20
持续推⼒(N)
35.2
17.6
35.2
17.6
峰值推⼒(N)
176
88
176
88
重量(kg)
3
2.9
4.4
4