FMS90R-25伺服电机高精度整体台面平移台

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⾏程覆盖25mm

紧凑结构设计，体积小巧

配合我们的控制器可做精度补偿

坚固的台⾝设计

免费标准版SDK

⾼性能控制器

可选配EtherCAT总线控制

产品简介

针对⾼精度光纤耦合和⾼精度三维调整市场应⽤，我们推出了针对性直流伺服FMS90R-25位移台，采⽤⽇本THK公司SP级交叉滚轴导轨，欧洲品牌的直流伺服⼀体化丝杠电机，大台面，薄机⾝，可与⽬前市⾯主流的进口光纤耦合位移台相媲美。

产品应用

显微成像

激光加⼯

⾼速扫描

精密测量

接线定义

反馈接⼝

反馈接⼝

产品图纸

产品参数


Model
FMS90R-25
⾏程(mm)
25
负载(Kg)
5
分辨率(μm)
0.01
最⼩步进量(μm)
0.1
单向重复定位精度/保证值(μm)
±0.07
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.05
双向重复定位精度/保证值(μm)
±0.05
双向重复定位精度/典型值(μm)
±0.03
定位精度/保证值(μm)
±1.0
定位精度/典型值(μm)
±0.5
最⼤速度(mm/s)
25
直线度(μm)
10
平整度(μm)
10
偏摆(arcsec)
15
俯仰(arcsec)
15
重量(kg)
1.2