FMS80R系列步进电机高精度整体台面平移台

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⾏程覆盖30mm、50mm

坚固的台⾝设计

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产品简介

我们推出的FMS80R系列交叉滚柱步进电机位移台，采⽤⽇本THK公司P级交叉滚柱导轨，上海鸣志电机。⼤台⾯、薄机身设计使其能够⼴泛适⽤于科研与⼯业领域。我们极端的品控要求与装配⼯艺确保其性能成为同类产品中的佼佼者。

产品应用

激光打靶

光机

晶圆切割

晶圆打磨

性能实测

接线定义

电气接口

产品图纸

FMS80R-30

FMS80R-50

产品参数


Model
FMS80R-30
FMS80R-50
⾏程(mm)
30
50
负载(Kg)
10
5
分辨率(μm)
0.625
0.625
最⼩步进量(μm)
1
1
单向重复定位精度/保证值(μm)
±1
±1
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.5
±0.5
双向重复定位精度/保证值(μm)
±2
±2
双向重复定位精度/典型值(μm)
±1
±1
定位精度/保证值(μm)
±10
±10
定位精度/典型值(μm)
±5
±5
最⼤速度(mm/s)
10
10
直线度(μm)
10
10
平整度(μm)
10
10
偏摆(arcsec)
20
30
俯仰(arcsec)
20
30
重量(kg)
1.3
1.3