新版FMS165Z-H系列 超高性能平移台

  • 产品详情

行程覆盖150mm、200mm、250mm与300mm

最小步进距离可达50纳米

高达5纳米分辨率的光栅尺编码器

超静音位移台

拖链内置，方便线束管理

免费标准版SDK

高性能控制器

可选配EtherCAT总线控制

产品简介

电动运动平台同时具有高精度特性、高速能力、超低速运行能力、高稳定特性是非常困难的。2022年，我们专门为复杂科研应用开发了旗舰系列产品FMS165Z- H超高性能平移台。FMS165Z-H解决了超低速运行稳定性难题，采⽤超高分辨率光栅尺配合超高精度装配工艺，使该系列平移台有**的超低速运行能力并达到亚μm级重复定位精度。FMS165Z-H采用内置拖链，方便线束管理，结合我们高性能版本的FMC04-H系列控制器，能完美呈现高性能版本控制器的所有高级功能，运行速度最高可达1m/s。

产品应用

工业

飞秒加工

半导体

显微扫描

光纤延迟线

激光切割机

激光焊接机

医疗

仪器设备制造

性能实测

接线定义

电机接⼝

反馈接⼝

产品图纸

FMS165Z-150H

FMS165Z-200H

FMS165Z-250H

FMS165Z-300H

产品参数


Model
FMS165Z-150H
FMS165Z-200H
FMS165Z-250H
FMS165Z-300H
⾏程(mm)
150
200
250
300
负载(Kg)
40
20
40
20
分辨率(μm)
0.02
0.02
0.02
0.02
最⼩步进量(μm)
0.1
0.1
0.1
0.1
单向重复定位精度/保证值(μm)
±0.2
±0.2
±0.2
±0.2
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.1
±0.1
±0.1
±0.1
双向重复定位精度/保证值(μm)
±0.3
±0.3
±0.3
±0.3
双向重复定位精度/典型值(μm)
±0.2
±0.2
±0.2
±0.2
定位精度/保证值(μm)
±1
±1
±1
±1
定位精度/典型值(μm)
±0.5
±0.5
±0.5
±0.5
最⼤速度(mm/s)
500
500
500
500
直线度(μm)
5
5
5
5
平整度(μm)
5
5
5
5
偏摆(arcsec)
15
15
15
15
俯仰(arcsec)
15
15
15
15
持续推⼒(N)
58
29
58
29
峰值推⼒(N)
200
100
200
100
重量(kg)
13.5
13
18
17.5