行程覆盖20mm、50mm、120mm
整体台面升降、断电自锁
可配0.5μm光栅尺做闭环控制
免费标准版SDK
⾼性能控制器
可选配EtherCAT总线控制
针对⼀些系统搭建,全方位不能遮挡的情况,我们开发了经济型FMSZ系列整体他台面升降台。采用上海鸣志⼀体化丝杠电机,无需联轴器,避免了联轴器偏心扰动。预留了大连榕树的内置光栅尺接⼝,可做闭环进⼀步提高精度。让体积,性能,行程,精度做到完美匹配。
样品台
姿态调整
光学测试
光学设备
FMSZ85R-20
FMSZ115R-50
FMSZ145-120
电气接口
FMSZ85R-20
FMSZ115R-50
FMSZ145-120
Model | FMSZ85R-20 | FMSZ115R-50 | FMSZ145-120 |
⾏程(mm) | 20 | 50 | 120 |
负载(Kg) | 5 | 10 | 20 |
分辨率(μm) | 0.625 | 0.625 | 0.625 |
最⼩步进量(μm) | 2 | 2 | 2 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±2 | ±2 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±1 | ±1 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±2.5 | ±3 | ±4 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±1 | ±2 | ±2 |
定位精度/保证值(μm) | ±15 | ±20 | ±20 |
定位精度/典型值(μm) | ±10 | ±15 | ±15 |
最⼤速度(mm/s) | 10 | 10 | 10 |
直线度(μm) | 15 | 15 | 15 |
平整度(μm) | 15 | 15 | 15 |
偏摆 | 30 | 40 | 60 |
俯仰 | 30 | 40 | 60 |
重量(kg) | 1.2 | 2.9 | 6.8 |