FMSZ真空步进电机升降台

  • 产品详情

行程覆盖20mm、50mm

真空专用电机，真空度高

不锈钢主体设计，理想真空材料

免费标准版SDK

高性能控制器

可选配EtherCAT总线控制

产品简介

我们开发的FMSZ系列真空步进电机升降台。经过特殊设计，方便与我们的其余产品搭建成多维位移台。承载高，并可定制其它行程。搭配FMC01系列控制器。

产品应用

样品台

姿态调整

光学测试

光学设备

性能实测

FMSZ85VR-20

FMSZ115VR-50

FMSZ80V-50

接线定义

电气接⼝

产品图纸

FMSZ85VR-20

FMSZ115VR-50

FMSZ80V-50

产品参数


Model
FMSZ85VR-20
FMSZ115VR-50
FMSZ80V-50
⾏程(mm)
20
50
50
负载(Kg)
5
10
10
分辨率(μm)
0.625
0.625
0.625
最⼩步进量(μm)
2
2
1
单向重复定位精度/保证值(μm)
±1
±2
±1
单向重复定位精度/典型值(μm)
±0.5
±1
±0.5
双向重复定位精度/保证值(μm)
±2.5
±3
±2
双向重复定位精度/典型值(μm)
±1
±2
±1
定位精度/保证值(μm)
±15
±20
±10
定位精度/典型值(μm)
±10
±15
±5
最⼤速度(mm/s)
10
10
20
直线度(μm)
15
15
10
平整度(μm)
15
15
10
偏摆
30
40
30
俯仰
30
40
30
重量(kg)
3.2
6.8
5.2