EKSMA 真空兼容平移系统 860-0051V-XYZ
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描述
- 测微驱动
- 高灵敏度
- X、Y 和 Z 轴 15mm 行程
- 提供非真空版本
860-0051 XYZ 公制位移台组件由 3 件 860-0051V、2 块底板和 1 块连接板组成。
技术规格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 行程范围 | 15 mm |
| 灵敏度 | 1 µm |
| 跟踪精度 | 2 µm |
| 刻度刻线 | 10 µm |
| 承载能力 | 5 kg |
分类
| 参数 | 规格 | |
|---|---|---|
| 类型 | 平移\ | 旋转 |
订购型号 (variants)
| SKU | 名称(中文) | 规格 |
|---|---|---|
| 860-0051EV-XYZ | 真空兼容三轴平移系统 860-0051V-XYZ，inch version | 描述=英制版本 |
| 860-0051V-XYZ | 真空兼容三轴平移系统 860-0051V-XYZ，metric version | 描述=公制版本 |