纳米定位压电叠堆促动器

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纳米定位压电叠堆促动器

NPA 压电叠堆促动器配有高度可靠的多层低压压电换能器堆叠。它们通过机械弹簧在内部完成预加载,具有高谐振频率,这使其成为高载重动态应用的理想之选。

Ø亚纳米定位分辨率

Ø载重能力高

Ø可选应变计位置反馈

Ø真空兼容版本

产品型号

对比

型号

NPA100压电堆促动器,0.1毫米行程范围,开环

NPA100-D压电堆促动器,0.1毫米行程范围,开环,XPS

NPA100SG压电堆促动器,0.1毫米行程范围,应变计

NPA100SG-D压电堆促动器,0.1毫米行程范围,应变计,XPS

NPA25压电堆促动器,0.025毫米行程范围,开环

NPA25-D压电堆促动器,0.025毫米行程范围,开环,XPS

NPA25SG压电堆促动器,0.025毫米行程范围,应变计

NPA25SG-D压电堆促动器,0.025毫米行程范围,应变计,XPS

NPA50压电堆促动器,0.05毫米行程范围,开环

NPA50-D压电堆促动器,0.05毫米行程范围,开环,XPS

NPA50SG压电堆促动器,0.05毫米行程范围,应变计

NPA50SG-D压电堆促动器,0.05毫米行程范围,应变计,XPS

特征

亚纳米定位分辨率

载重能力高

NPA 压电叠堆促动器的定位分辨率低至 0.05 nm,

因此可以进行超精细调节,且分辨率仅受限于控制电子器件的噪声。

NPA 压电叠堆促动器可以产生高达 1000 N 的力,

因而特别适用于机床、主动隔振或自适应机制。

适合闭环工作的可选应变计

真空兼容版本

闭环版本具有高分辨率位置传感器,可实现高精度且可重复的运动,

而且还会对促动器的移动进行补偿。

装配基于完整的惠斯通电桥进行,并且对温度不敏感。

闭环设备可用于开环或闭环控制。

NPA 压电叠堆促动器具有真空兼容版本,

可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。

配件

兼容产品 控制器

XPS控制器与NPAxxx-D型的纳米定位促动器兼容。

对比

描述

NPC3SG压电放大器,3 通道,应变计位置控制

NPC3压电放大器,3 通道,开环控制

XPS-DRVP1
1纳米定位驱动器模块,压电叠堆

注释: 需要XPS-D系列控制器。