纳米定位压电叠堆促动器
NPA 压电叠堆促动器配有高度可靠的多层低压压电换能器堆叠。它们通过机械弹簧在内部完成预加载,具有高谐振频率,这使其成为高载重动态应用的理想之选。
Ø亚纳米定位分辨率
Ø载重能力高
Ø可选应变计位置反馈
Ø真空兼容版本
产品型号
对比 | 型号 |
NPA100压电堆促动器,0.1毫米行程范围,开环 | |
NPA100-D压电堆促动器,0.1毫米行程范围,开环,XPS | |
NPA100SG压电堆促动器,0.1毫米行程范围,应变计 | |
NPA100SG-D压电堆促动器,0.1毫米行程范围,应变计,XPS | |
NPA25压电堆促动器,0.025毫米行程范围,开环 | |
NPA25-D压电堆促动器,0.025毫米行程范围,开环,XPS | |
NPA25SG压电堆促动器,0.025毫米行程范围,应变计 | |
NPA25SG-D压电堆促动器,0.025毫米行程范围,应变计,XPS | |
NPA50压电堆促动器,0.05毫米行程范围,开环 | |
NPA50-D压电堆促动器,0.05毫米行程范围,开环,XPS | |
NPA50SG压电堆促动器,0.05毫米行程范围,应变计 | |
NPA50SG-D压电堆促动器,0.05毫米行程范围,应变计,XPS |
特征
亚纳米定位分辨率 | 载重能力高 |
NPA 压电叠堆促动器的定位分辨率低至 0.05 nm, 因此可以进行超精细调节,且分辨率仅受限于控制电子器件的噪声。 | NPA 压电叠堆促动器可以产生高达 1000 N 的力, 因而特别适用于机床、主动隔振或自适应机制。 |
适合闭环工作的可选应变计 | 真空兼容版本 |
闭环版本具有高分辨率位置传感器,可实现高精度且可重复的运动, 而且还会对促动器的移动进行补偿。 装配基于完整的惠斯通电桥进行,并且对温度不敏感。 闭环设备可用于开环或闭环控制。 | NPA 压电叠堆促动器具有真空兼容版本, 可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。 |
配件
兼容产品 控制器
XPS控制器与NPAxxx-D型的纳米定位促动器兼容。
对比 | 描述 |
NPC3SG压电放大器,3 通道,应变计位置控制 | |
NPC3压电放大器,3 通道,开环控制 | |
XPS-DRVP1 |
注释: 需要XPS-D系列控制器。