电动 XYZθxθy 倾斜对准位移台

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电动 XYZθxθy 倾斜对准位移台

8081M-UHV XYZθxθy 电动五轴倾斜对准位移台通过电动控制每个轴来增加常见运动平台的实用性，现在可以用于UHV环境（10-9 Torr）以及用于VUV/EUV应用。每个平台的Picomotor™驱动器，可以对X, Y, Z, θx和θy的各种组合实现优于<30 nm远程高分辨率调整。它具有较小的反冲，因此具有优良的长期稳定性和高刚度。对8081-UHV进行了测试和测量，85 ℃下3小时内挥发物水平低于挥发性物质的5ppm。可根据要求提供详细的挥发化合物的质谱图。 M4和M6螺纹孔。 与一根8081-UHV-C电缆，两个8725多轴适配器和两个8742控制器/驱动器一起使用，以控制所有的5个轴。

技术参数

位移轴

X, Y, Z, θx, θy

机制

Kinematic

驱动方式

Picomotor

行程范围

3 mm

角度范围

θx=8°, θy=10°

负载

13 N

较小位移增量

<30 nm

角分辨率

θx, θy≤0.7 µrad

真空兼容性

10-9
Torr

线缆类型

Kapton® Ribbon Ultrahigh Vacuum Rated

端口类型

DB15 Female

工作温度

10 to 40°C

螺纹类型

M4 and M6