真空兼容的六轴定位平台

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真空兼容的六轴定位平台

与堆叠平台相比,六脚架以紧凑的结构为复杂的多轴运动提供了简单,优雅的解决方案。 我们与真空兼容的六足动物的额定使用频率为10-6 hPa。

产品型号

对比

型号

HXP100V6-MECA六角,真空兼容,200毫米直径平台,20kg负载,M6

HXP50V6-MECA六角,真空兼容,125毫米直径平台,5kg负载,M6

产品规格

型号


HXP50V6-MECA


HXP100V6-MECA

尺寸

Ø200 x 151 mm

Ø300 x 209 mm

行程范围 X、Y、Z
1

±17, ±15, ±7 mm

±27.5, ±25, ±14 mm

行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ

±9, ±8.5, ±18 °

±11.5, ±10.5, ±19 °

较小位移增量 X、Y、Z
2

0.2, 0.2, 0.1 µm

0.5, 0.5, 0.25 µm

较小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ

0.1, 0.1, 0.2 mdeg

0.25, 0.25, 0.5 mdeg

单向重复精度 X、Y、Z - 典型值

±0.20, ±0.20, ±0.20 µm

±0.50, ±0.50, ±0.50 µm

单向重复精度 ΘX, ΘY, ΘZ - 典型值

±0.40, ±0.40, ±0.20 mdeg

±0.25, ±0.25, ±0.50 mdeg

较大速度 X、Y、Z

2, 1.9, 0.8 mm/s

0.5, 0.5, 0.25 mm/s

较大速度(ΘX、ΘY、ΘZ

2.4, 2.4, 6 °/s

0.2, 0.2, 0.4 °/s

刚度(X、Y、Z)
3

2, 2, 25 N/µm

5, 5, 40 N/µm

中心负载
4

50 N

200 N

端口

DB25 Male (6)

DB25 Male (6)

电缆长度

1.5 m

1.5 m

电机

Stepper motor

Stepper motor

重量

2.2 kg

7.2 kg

螺纹类型

M6

M6

注释:

1.行程范围是相互依存的。 列出的值为较大值。 当所有其他轴都位于其居中位置时,该轴按轴移动。

2.显示的开环值

3.刚度取决于六脚架的位置。 给出了所有轴在其居中位置的值。

4.所示为水平底板的值。 有关产品页面上较大有效负载高度和悬臂距离的信息,请参见图表。

特征

平行运动

六脚架是复杂运动应用的巧妙而有效的解决方案,这些应用要求在多达六个独立轴上具有高负载能力和精度。

平行运动学运动设备在紧凑的解决方案中为多轴定位提供了六个自由度(X,Y,Z,俯仰,横滚和偏航)。

作为堆叠多级的替代方案,六脚架没有移动的电缆,总成本较低,并且提供了误差补偿的运动。

高精度促动器

六足位移台的顶板由六个同步的高性能促动器驱动,

编码器安装在丝杠螺母上,用以实现准确 MIM、低侧隙与高速特性。

创新型促动器接头

球形接头以紧凑,低调的设计增强刚度。

每个 Newport 六足位移台型号的联接系统都是不同的,

这样可以提高载重下的位置稳定性。

Newport 六足位移台采用球形接头或万向接头设计,

与相似尺寸的其他六足位移台相比,拥有五倍以上的刚度和两倍以上的载重能力。

两个旋转虚拟中心

六脚架运动由全局坐标系和局部坐标系定义,从而使编程运动对于标准研究,度量衡和制造应用而言更加直观。

用户较多可以对两个虚拟枢轴点进行编程,而无需计算坐标系转换或关闭控制器电源。

这两个虚拟枢轴点是两个可定义坐标系的原点:与顶板一起移动的工具和作为固定参考的工件。

这使用户可以概念化如何操作样品和工具。 对于这种六轴设备,简化了复杂的运动,以便于用户程序开发。

世界:通用参考

工作:相对于世界的定义

工具:相对于顶板的定义

旋转工具

沿工具翻译

旋转工作

RightPath™轨迹控制


这些轨迹功能可通过以下方式促运动:

•移动过程中的较小跳动(偏离轨迹)

•连续的多维运动路径

•沿轨迹路径的恒定速度

•移动开始和结束时的轨迹加速度相等:加速度=减速度

•在运动之前进行计算,因此没有滞后时间

HexaViz仿真软件

我们的HexaViz六脚架模拟器使您可以在订购前发现

哪种较适合您的应用需求的Newport Hexapod模型。

纽波特的免费HexaViz Hexapod仿真软件提供了易于使用

的虚拟六脚架界面,用于评估行程范围,负载能力,力和扭矩特性。


六足运动控制器

我们的HXP-ELEC高性能多轴六脚运动控制器专用于Newport Hexapods。

HXP-ELEC与Newport XPS通用高性能运动控制器/驱动器基于相同的硬件,

但是预先配置了特殊固件以命令Hexapod机械手。 固件功能旨在简化编程和集成。

选择与您要控制的六脚架具有相同前缀的控制器。

真空六脚架应用

部件在真空室内的远程定位通常是通过运动系统完成的。

对于需要超过4个运动轴的特定应用,Newport提供了这些标准的,

现成的真空兼容六脚架(高达10-6 Torr)来满足这一需求。

非真空兼容的HXP六脚架

HXP系列还提供了高精度六脚架版本,

该版本可保证精度值–这使它们可以在需要位置精度的应用中使用。

HXP系列还提供高负载六脚架版本,可提供较大450公斤的中心负载能力。

对于其他非真空应用,高精度HXP系列是一种通用解决方案。

配件

六轴并联运动控制器

以下的六轴并联运动控制器与这些精密六轴并联系统兼容。 选择与您的六轴并联系统前缀相同的控制器。

对比

描述

HXP50V6-ELEC-D运动控制器,六角,HXP50V6-MECA

HXP100V6-ELEC-D运动控制器,六角, HXP100V6-MECA