Agilis™ 压电马达线性平移台
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Agilis™ 压电马达线性平移台
Agilis 压电电机线性平移台是配备了 Newport 专利 Agilis 压电电机的高精度微型平移台。凭借很高的调节灵敏度、便捷的可编程操作以及紧凑的设计，Agilis 平移台以高品质手动平移台的价格实现了出色的运动性能。
Ø支持小的较小增量运动
Ø不使用时具备一劳永逸的稳定性
Ø无波纹和低摩擦行程
Ø适用于直读编码器和 CONEX 控制器
Ø适用于真空兼容版本
产品型号
对比 | 型号 | 行程范围 |
| AG-LS25压电线性位移台，12 mm 行程 | 12 mm |
| AG-LS25-27压电线性位移台，27 mm 行程 | 27 mm |
| AG-LS25V6压电线性位移台，12 mm 行程，真空兼容 | 12 mm |
| AG-LS25-27V6压电线性位移台，27 mm 行程，真空兼容 | 27 mm |
产品规格
型号 |
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行程范围 | 12 mm | 12 mm | 27 mm | 27 mm |
较小位移增量 | 50 nm | 50 nm | 100 nm | 100 nm |
较大速度 | 0.5 mm/s | 0.5 mm/s | 0.5 mm/s | 0.5 mm/s |
中心负载 | 3 N | 3 N | 2.5 N | 2.5 N |
垂直负载能力 | 2 N | 2 N | 1.5 N | 1.5 N |
夹持力 | 4 N | 4 N | 4 N | 4 N |
真空兼容性 | 10-6 | 10-6 | ||
倾斜 | 200 µrad | 200 µrad | 200 µrad | 200 µrad |
偏摆 | 200 µrad | 200 µrad | 200 µrad | 200 µrad |
材料 | Stainless Steel | Stainless Steel | Stainless Steel | Stainless Steel |
电缆长度 | 1.2 m | 1.2 m | 1.2 m | 1.2 m |
工作温度 | 10 to 35°C | 10 to 35°C | 10 to 35°C | 10 to 35°C |
重量 | 70 g | 70 g | 125 g | 125 g |
特征
多轴配置 | |
Agilis™压电电机线性位移台可以配置为XY，XZ或XYZ位移台堆叠。 您可以使用339233 90度角支架来构建XZ和XYZ位移台配置。 对于AG-LS25位移台的XY位移台组件， 请使用每个位移台随附的4 x TC M3x4螺钉。 展示了一种XZ工作台堆栈。 |
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CONEX控制集成线性编码器 | |
| Newport还提供了27毫米行程Agilis线性位移台的版本， 该位移台具有内置的直接读取线性编码器和集成的CONEX控制器， CONEX-AG-LS25-27P。 它的闭环控制提供了0.2 µm的典型双向重复性和0.2 µm的较小增量运动。 |
50 nm 较小增量运动 | 真空兼容版本 |
Agilis 专有压电技术提供 50 nm 的增量运动能力， 使其成为超灵敏对准和调整的理想选择。 | Agilis 线性平移台具有真空兼容版本， 该版本可以在真空（10-6 Torr）环境中使用。 |
一劳永逸的长期稳定性 | 无波纹和低摩擦行程 |
Agilis 压电电机直接耦合到移动托架， 没有中间螺钉或齿轮，避免了传动系统中的耦合问题。 停顿时，该电机的夹持力会将当前的位置锁住， 实现真正的"一劳永逸"的长久稳定性。 | 具有热匹配的不锈钢设计和精密制造的轴承表面的 Agilis 线性平移台可实现无波纹、低摩擦的线性位移， 和任何轴上的角度偏差都可小于 100 µrad。 |
配件
Agilis 控制器
对比 | 描述 |
| AG-UC2电机控制器，压电，2 轴，Agilis™，手持 |
| AG-UC8电机控制器，压电，8 轴，Agilis™ |
| AG-UC8PC电机控制器，压电，8 轴，Agilis™，OEM，USB/RS232/RS485 |
Agilis 配件
对比 | 描述 |
| 33923390度角支架，闭角，UMR3位移台，EQ3.02 |
| M-B-1.25转接板，25x25 mm位移台到 40x40 mm位移台 |
| M-B-2C转接板，25x25 mm位移台到光学平台或65x65 mm位移台 |