真空兼容压电堆栈线性位移台
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真空兼容压电堆栈线性位移台
压电堆栈线性位移台以紧凑的封装形式在一个，两个或三个轴上提供长行程和亚纳米级的分辨率运动。 它们具有快速响应和快速稳定的性能，使其可用于动态真空过程，例如高频误差补偿，跟踪，快速步进或连续扫描。
产品型号
| 对比 | 型号 | 位移轴 | 行程范围 |
| NPX200SGV6 | X | 0.2 mm |
| NPX400SGV6 | X | 0.4 mm |
| NPXY100SGV6 | XY | 0.1 mm |
| NPXYZ100SGV6 | XYZ | 0.1 mm |
| NPXYZ100V6 | XYZ | 0.1 mm |
产品规格
型号 |
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位移轴 | XYZ | XY | XYZ | X | X |
反馈 | Open-loop | Strain-gauge | Strain-gauge | Strain-gauge | Strain-gauge |
闭环行程 | 80 µm | 80 µm | 80 µm | 160 µm | 320 µm |
闭环重复精度，典型值 | 30 nm | 36 nm | 30 nm | ||
闭环分辨率 | 4 nm | 4 nm | 4 nm | 4 nm | 4 nm |
开环行程 | 100 µm | 100 µm | 100 µm | 200 µm | 400 µm |
开环分辨率 | 0.4 nm | 0.4 nm | 0.4 nm | 0.4 nm | 0.4 nm |
轴向负载 | 40/40/32 N | 110/95 N | 40/40/32 N | 16 N | 64 N |
垂直负载能力 | 30 N | 75 N | 30 N | 10 N | 10 N |
真空兼容性 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
轴向刚度 | 1 N/µm | 1.1 N/µm / 0.95 N/µm | 1 N/µm | 0.08 N/µm | 0.16 N/µm |
电容 | 1.8 µF | 1.8 µF | 1.8 µF | 1.8 µF | 5.2 µF |
共振频率，载重 105g | 190/180/250 Hz | 190/180/250 Hz | |||
共振频率，载重 300g | 110/110/150 Hz | 110/110/150 Hz | |||
共振频率，载重 80g | 210/200/300 Hz | 210/200/300 Hz | |||
共振频率，空载 | 500/550/480 Hz | 380/480 Hz | 500/550/480 Hz | 177 Hz | 200 Hz |
电缆长度 | 1 m | 2 m | 2 m | 2 m | 2 m |
重量 | 165 g | 175 g | 160 g | 180 g | 180 g |
RoHS | Compliant | Compliant | Compliant | Compliant | Compliant |