优质基材

腔衰荡时间光谱仪或EUV镜的特殊激光应用的优质基材的特点是：

Ø精确的几何形状：有关直径，厚度，折痕或曲率半径等几何特性的公差，请参见我们目录的第12页

Ø表面粗糙度

Ø表面形状公差

Ø抛光表面上的缺陷数量

LAYERTEC针对所有这些参数优化了抛光程序。 在下文中，我们就会展示使用熔融二氧化硅和氟化钙可获得的出色结果。

规格

表面粗糙度

ØRMS-熔融石英和氟化钙的平面基板的粗糙度<1.5Å

Ø在光滑弯曲的球形熔融石英表面上得到相似的结果（取决于直径和曲率半径的比率）

Ø即使在紫外线范围内，基材的散射损耗也非常低：

ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)

ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm

Ø即使在DUV / VUV波长范围内也适用于低损耗光学元件

高质量抛光熔融石英基板的功率谱密度（PSD）曲线（在FhG IOF Jena上执行的测量）

高质量抛光CaF2基板（在FhG IOF Jena执行）的3D AFM测量，均方根粗糙度0.12nm

表面形状公差

表面质量