DUV透射光栅
- 产品详情
产品核心优势
- 1. 精准波段适配：专为190-400nm深紫外（DUV）波段设计，衍射效率表现优异——>190nm波段达20%，200-240nm波段最高可达50%，满足深紫外场景光学需求。
- 2. 严苛环境耐受：具备优异的环境稳定性与抗辐照特性，可在严苛环境下保持高性能和持久耐用性，适配复杂工业场景。
- 3. 灵活规格选择：提供12.7mm×12.7mm、25mm×25mm两种方形尺寸，刻线密度覆盖300-1200线/毫米，支持多种衍射角度，适配不同设备集成需求。
产品概述
DUV透射光栅主要覆盖190-400nm深紫外波段，凭借优异的环境稳定性与抗辐照能力，可在严苛条件下稳定工作。产品提供12.7mm和25mm两种方形规格，刻线密度范围为300-1200线/毫米，衍射效率在深紫外波段表现突出（>190nm达20%，200-240nm最高50%），特别适用于半导体制造、生命科学分析等对光学性能要求高的领域。
特别注意：光栅需要特殊处理，表面易留下指纹和气溶胶，仅能从边缘进行操作，避免损坏影响性能。
通用规格
| 规格项目 | 参数 |
|---|---|
| 有效孔径（%） | 90 |
| 构造 | Ruled Grating（刻线光栅） |
| 厚度（mm） | 2.00 |
产品详情表
表1：12.7mm×12.7mm尺寸系列
| 槽数/毫米（槽/mm） | 闪耀角（°） | 尺寸（mm） | 产品编码 |
|---|---|---|---|
| 300 | 8.6 | 12.70×12.70 | #73-792 |
| 600 | 13 | 12.70×12.70 | #73-794 |
| 600 | 17.5 | 12.70×12.70 | #73-796 |
| 600 | 22 | 12.70×12.70 | #73-797 |
| 830 | 19.4 | 12.70×12.70 | #73-798 |
| 1200 | 26.7 | 12.70×12.70 | #73-799 |
表2：25mm×25mm尺寸系列
| 槽数/毫米（槽/mm） | 闪耀角（°） | 尺寸（mm） | 产品编码 |
|---|---|---|---|
| 300 | 8.6 | 25.00×25.00 | #73-800 |
| 600 | 13 | 25.00×25.00 | #73-801 |
| 600 | 17.5 | 25.00×25.00 | #73-802 |
| 600 | 22 | 25.00×25.00 | #73-803 |
| 830 | 19.4 | 25.00×25.00 | #73-804 |
| 1200 | 26.7 | 25.00×25.00 | #73-805 |
技术数据
- • 测试条件：1st Order Efficiency Curves at 0°AOI（0°入射角下的一级衍射效率曲线）
- • 涉及规格：涵盖600槽/毫米（13°、22°、17°闪耀角）、1200槽/毫米（26.7°闪耀角）、830槽/毫米（19.4°闪耀角）、300槽/毫米（8.6°闪耀角）等规格的效率曲线，波长覆盖190-390nm范围。
特殊处理说明
这些光学器件需要特殊处理，以避免损坏并确保长期性能。正确的处理、清洁和储存对保持光学质量至关重要：
- 1. 仅可从边缘接触光栅，禁止触碰光学表面，防止留下指纹或气溶胶；
- 2. 请参考“清洁光学产品资源指南”，遵循正确清洁步骤与方法。