EKSMA 平移系统 860-0051XYZ
- 产品详情
产品图片
描述
XYZ 移动，15 mm 行程范围内的微分头驱动。真空兼容平移系统 860-0051V-XYZ 可供货。
平移系统 860-0051XYZ 由以下部件组成：
技术规格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 行程范围 | 15 mm |
| 灵敏度 | 1 µm |
| 跟踪精度 | 2 µm |
| 刻度刻线 | 10 µm |
| 承载能力 | 5 kg |
- 三个 860-0051 平移台
- 一个角支架 810-0110
- 一个平板 820-0136-01
- 一个连接板 820-0136-02
- 一个底板 820-0136-03
分类
| 参数 | 规格 | |
|---|---|---|
| 类型 | 平移\ | 旋转 |
订购型号 (variants)
| SKU | 名称(中文) | 规格 |
|---|---|---|
| 860-0051E XYZ | 三轴平移系统 860-0051XYZ | |
| 860-0051M XYZ | 三轴平移系统 860-0051XYZ（SKU 860-0051M XYZ） |