EKSMA 真空兼容窄型直流电机电动平移台 961-0060V
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描述
兼容真空环境的 961-0060V 系列位移台配备兼容 10⁻⁶ Torr 真空的直流电机，所有机械部件均使用高真空兼容润滑脂进行润滑。铝制部件未经过阳极氧化处理。位移台在出厂前会在真空腔内进行清洁并包装，以便购买后可立即放入真空腔中而不会破坏真空。清洁和包装费用不包含在价格中。
直流电机可提供更平滑的运动和闭环操作。高减速比的减速机构带来高分辨率，但相应地速度较低。非常适合要求高精度但对速度限制不敏感的应用。
技术规格
| 参数 | 规格 |
|---|---|
| 行程范围，mm | 10 |
| 丝杠导程, mm | 0.25 |
| 分辨率，μm | 0.1 |
| 增量运动下限，μm | 0.028 |
| 双向重复精度，μm | 0.4 |
| 速度*上限 mm / s | 0.16 |
| 承重能力：/ 水平，kg / 垂直，kg | 5 / 1 |
| 线缆 | Integrated, 2 m length |
| 电机连接器 | HDB15(M) |
| 直流电机 | DCE1841 |
| 重量，kg | 0.43 |
| 装配：/ X-Y / Z | 810-0250 / 810-0150 |
订购型号 (variants)
| SKU | 名称(中文) | 规格 |
|---|---|---|
| 961-0062V | 窄型直流电机位移台（真空兼容） 961-0060V，行程10 | 行程范围，mm=10 |
| 961-0064V | 窄型直流电机位移台（真空兼容） 961-0060V，行程20 | 行程范围，mm=20 |
| 961-0065V | 窄型直流电机位移台（真空兼容） 961-0060V，行程25，长142 mm，74，49，11，30.5 | 行程范围，mm=25; L, mm=142; A, mm=74; B, mm=49; C, mm=11; D，mm=30.5; 边缘厚度，mm=60 |
| 961-0066V | 窄型直流电机位移台（真空兼容） 961-0060V，行程30，长148 mm，80，55，11.5，36.5，66 | 行程范围，mm=30; L, mm=148; A, mm=80; B, mm=55; C, mm=11.5; D，mm=36.5; 边缘厚度，mm=66 |