EKSMA 窄型带真空兼容步进电机电动平移台 960-0050V

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描述

真空兼容电动直线台 960-0050V 是一款新研发的台。其突出特点是可以任意方向运行,意味着该台可以倒挂安装,也可以垂直运行,电机可朝上或朝下。在设计时充分考虑了台的耐用性,垂直负载能力提升至 1 kg。该台采用弹簧预紧以消除间隙。960-0050V 的设计可确保在整个行程范围内运动更加稳定和精确。

对于垂直(Z 轴)安装,我们提供角度支架 810-0155V。可根据需求定制非标设计的角度支架。每个直线台内置两个机械限位开关,用于行程末端紧急停止或建立参考位置,精度为若干电机步距(如需更精确的零位设置,请使用 E3 选项,参见 Sensors)。通过读取刻在电机轴上旋钮的刻度,可直观确定电机位置,精度为一步。960-0050V 的本体和平台采用铝合金制成,功能部件采用钢材制成。

该台配备兼容 10⁻⁶ Torr 真空的步进电机,所有机械部件均使用高真空兼容润滑脂进行润滑。铝合金部件未经过阳极氧化处理。台在出厂前于真空腔内进行清洁并包装,以便购买后可立即放入真空腔中,而不会破坏真空环境。

清洁和包装不包含在价格内。电动真空台配备高真空兼容的 Sub-D 公头 9 针连接器。连接器采用玻璃填充聚合物制成,外壳为不锈钢,适用于高真空(10⁻⁸ mbar)及高达 110°C 的温度。

技术规格

参数规格
行程范围50 mm
丝杠导程0.25 mm
分辨率 整步 *1.25 µm
速度上限 *2.5 mm / s
承载能力 / 水平 / 垂直3 kg / 1 kg
氟塑料电缆integrated, 2m length
电机连接器HDB15(M)
电机VSS42
重量0.55 kg
装配 / X-Y / Z810-0250-01V / 810-0150-01V

订购型号 (variants)

SKU名称(中文)规格
960-0050V窄型步进电机位移台(真空兼容) 960-0050V