产品核心优势

1. 精准波段适配：专为190-400nm深紫外（DUV）波段设计，衍射效率表现优异——>190nm波段达20%，200-240nm波段最高可达50%，满足深紫外场景光学需求。
2. 严苛环境耐受：具备优异的环境稳定性与抗辐照特性，可在严苛环境下保持高性能和持久耐用性，适配复杂工业场景。
3. 灵活规格选择：提供12.7mm×12.7mm、25mm×25mm两种方形尺寸，刻线密度覆盖300-1200线/毫米，支持多种衍射角度，适配不同设备集成需求。

产品概述

DUV透射光栅主要覆盖190-400nm深紫外波段，凭借优异的环境稳定性与抗辐照能力，可在严苛条件下稳定工作。产品提供12.7mm和25mm两种方形规格，刻线密度范围为300-1200线/毫米，衍射效率在深紫外波段表现突出（>190nm达20%，200-240nm最高50%），特别适用于半导体制造、生命科学分析等对光学性能要求高的领域。

特别注意：光栅需要特殊处理，表面易留下指纹和气溶胶，仅能从边缘进行操作，避免损坏影响性能。

通用规格

规格项目	参数
有效孔径（%）	90
构造	Ruled Grating（刻线光栅）
厚度（mm）	2.00

产品详情表

表1：12.7mm×12.7mm尺寸系列

槽数/毫米（槽/mm）	闪耀角（°）	尺寸（mm）	产品编码
300	8.6	12.70×12.70	#73-792
600	13	12.70×12.70	#73-794
600	17.5	12.70×12.70	#73-796
600	22	12.70×12.70	#73-797
830	19.4	12.70×12.70	#73-798
1200	26.7	12.70×12.70	#73-799

表2：25mm×25mm尺寸系列

槽数/毫米（槽/mm）	闪耀角（°）	尺寸（mm）	产品编码
300	8.6	25.00×25.00	#73-800
600	13	25.00×25.00	#73-801
600	17.5	25.00×25.00	#73-802
600	22	25.00×25.00	#73-803
830	19.4	25.00×25.00	#73-804
1200	26.7	25.00×25.00	#73-805

技术数据

• 测试条件：1st Order Efficiency Curves at 0°AOI（0°入射角下的一级衍射效率曲线）
• 涉及规格：涵盖600槽/毫米（13°、22°、17°闪耀角）、1200槽/毫米（26.7°闪耀角）、830槽/毫米（19.4°闪耀角）、300槽/毫米（8.6°闪耀角）等规格的效率曲线，波长覆盖190-390nm范围。

特殊处理说明

这些光学器件需要特殊处理，以避免损坏并确保长期性能。正确的处理、清洁和储存对保持光学质量至关重要：

1. 仅可从边缘接触光栅，禁止触碰光学表面，防止留下指纹或气溶胶；
2. 请参考“清洁光学产品资源指南”，遵循正确清洁步骤与方法。

韵翔光电